真空等離子清洗機是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產生的物質，等離子清洗/刻蝕產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電磁場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或郭的自由運動距離也越來越長，受磁場作用，發生碰撞而形成等離子體，同時會發生輝光，等離子體在電磁場內空間運動，并轟擊被處理物體表面，達到去除表面油污以及表面氧化物，灰化表面有機物，以及其它化學物質，從而達到表面處理、清洗和刻蝕效果，經過等離子處理工藝可以實現有選擇的表面改性。

真空等離子清洗機由真空發生系統、電氣控制系統、等離子發生器、真空腔休、機械等幾個部分組成，可以根據客戶的特殊要求定制符合客戶需要的真空系統，真空室。

真空離子清洗機廣泛應用于金屬表面去油及清洗、等離子刻蝕塑料表面，聚四氟（PTFE）及聚四氟混合物的刻蝕、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等離子涂鍍聚合等工序，因此又應用于汽車電子領域、軍工電子領域、PCB制成行業等高精密度領域。

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