ZLKST-21型方塊電阻測試儀是一種依照類似的國家標準和美國A.S.T.M標準，專門測量半導體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器，可用于測量一般半導體材料、導電薄膜(ITO透明氧化膜)，金屬薄膜……等同類物質的薄層電阻。

該儀器以大規模集成電路為主要核心；用基準電源和運算放大器組成高精度穩流源；帶回路有效正常指示電路；并配以大型LCD顯示讀數，使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點。

◆ 特點：

1

采用大規模集成電路作為儀器的主要部分，測量準確穩定，低功耗；

2

以大屏幕LCD顯示讀數，直觀清晰；

3

采用單個電池供電，帶電池欠壓指示；

4

體積≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g；

5

特制之手握式探筆，球形探針、鍍金探針有效接觸被測材料及保護薄膜

6

探頭帶抗靜電模塊

◆ 技術指標：

測量范圍

按方塊電阻量值大小分為二個量程檔：
1.方塊電阻 1.00～199.99Ω/□；
2.方塊電阻 10.0～1999.9Ω/□；
小分辨率：0.01Ω/□

恒流源

測量過程誤差：≤±0.8%

模數轉換器

量程：0～199.99mv；
分辨率：10μv；
方式：LCD大屏幕顯示；極性，超量程均自動顯示；小數點同步顯示；

測量不確定度

在整個量程范圍內，測量不確定度≤5%

四探針探頭規格

間距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；絕緣電阻≥500MΩ

電源

9V疊層電池1節

◆ ZLKST-21方塊電阻測試儀可選配HP系列四探針探頭的型號及規格：

型號

(Model)

曲率半徑

(Radius)

壓力

(loads)

探針間距

(spacing)

探針排列

(Arrangement)

ZLKHP-501

0.5mm

100g

3.8mm

直線

ZLKHP-502

0.75mm

100g

3.8mm

直線

ZLKHP-503

0.1mm

150g

1mm

直線

ZLKHP-504

0.5mm

100g

1.59mm

直線

◆ ZLKST-21方塊電阻測試儀可選配SP-601型方型四探針探頭的型號及規格：

型號

(Model)

曲率半徑

(Radius)

壓力

(loads)

探針間距

(spacing)

探針排列

(Arrangement)

ZLKSP-601

0.5mm

100g

1.59mm

方形