供應(yīng)XG-1P型壓阻真空計(jì)
型 號:XG-1P壓阻真空計(jì)
1.概述
XG-1P壓阻真空計(jì)使用壓阻真空變送器,測量與氣體成分無關(guān),是測量方式。測量精度高,一致性,重復(fù)性好。壓阻真空變送器結(jié)構(gòu)牢靠,使用壽命長可廣泛用與粗低真空測量。
2.性能指標(biāo)
2.1 測量范圍:1.0×105 --1.0×102Pa
2.2 電源電壓:220V±10% AC50Hz
2.3 外型尺寸:235(寬)×250(深)×88(高)mm
開口尺寸:200(寬)×86(高)mm
2.4 繼電器控制路數(shù):2路
2.5 控制繼電器觸點(diǎn)容量:220VAC/1A 阻性負(fù)載
3.工作原理
壓阻真空變送器是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)制成的一種力敏器件。它以單晶硅為基體,按特定晶面,根據(jù)不同的受力形式分別加工成彈性應(yīng)變元件,在彈性應(yīng)變元件的適當(dāng)位置,用集成電路工藝技術(shù)擴(kuò)散四個(gè)等值電阻,組成惠斯登電橋。當(dāng)不受壓力作用時(shí),電橋處于平衡狀態(tài);當(dāng)受到壓力作用時(shí),一對橋臂電阻變大,另一對變小,電橋失去平衡。若對電橋加一恒定電流(電壓),便輸出對應(yīng)于所加壓力的電壓信號,從而達(dá)到測量氣體壓力的目的。
由于這種傳感器的感受、敏感和檢測三部分同由一個(gè)元件實(shí)現(xiàn),沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),所以不重復(fù)性和遲滯等誤差極小。同時(shí)由于硅單晶本身剛度很大,形變很小,保證了良好的線性度,因此綜合精度很高。